ビームシャワー

beam shower

[目次：観察手法]

高倍率で観察しようとする視野を、予め加速電圧を上げたりプローブ電流を増やして低倍率で走査すること。試料汚染防止法の一つ。試料自身が汚染物質を持ち込んだような場合に有効で、その部分を高倍率で観察しても試料汚染を起こさずにデータを得ることができる。試料表面の汚染物質を取り除くという考え方と、表面に薄く付着させることで特定の部分に集まらなくするという考え方がある。

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