標準メゾスケール
標準メゾスケール
Standard meso scale
[目次:装置]
倍率基準として作られた標準試料の商品名。シリコン基板上に作った格子状のパターンで20µm、6µm、2µmの三種類のピッチを持つ。
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Standard meso scale
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倍率基準として作られた標準試料の商品名。シリコン基板上に作った格子状のパターンで20µm、6µm、2µmの三種類のピッチを持つ。