分析領域

analysis area, analysis volume

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特性X線、オージェ電子、カソードルミネッセンスなどの分析信号発生領域。EBSDなどでは解析領域という用語が使われる。入射した電子が試料内部で拡散するため、分析領域は電子プローブ径に比べて大きくなるのが普通であるが、分析に使う信号の発生機構も大きく影響する。平面的な領域を意味する場合と分析深さを意味する場合がある。特性Ｘ線の場合、平面的な領域、分析深さとも数百nm～数µmであるが、オージェ電子の場合、平面的な領域は数十nm、分析深さは数nmとなる。

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