方位マッピング

orientation mapping

[目次：観察手法]

EBSDの応用技術の一つ。EBSDでは、方位解析を行いながら電子プローブで試料表面を走査するので、各点の方位情報が順次得られる。これを利用して結晶の方位マップを得る方法である。
下図はICのボンディングワイヤーのECC像と逆極点図に従って色づけした方位マップである。ECC像では結晶粒に方位の違いがあることがわかるが、方位マップではそれに加えて各結晶粒の具体的な方位を知ることができる。

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