ボックス加工

box milling

[目次：試料作製]

ＦＩＢで試料を加工するときの手法。観察用の断面を作るとき、十分な大きさを持った長方形の穴をＦＩＢで掘るが、これをボックス加工と言う。目的は、観察用の電子プローブまたはイオンビームが断面に高角度で入射できるようにするためである。観察方向に沿った傾斜面を作るようにする場合、スロープ加工あるいはステップ加工という場合がある。

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