膜厚計

thickness monitor

[目次：試料作製]

真空蒸着やイオンスパッタで試料表面にコーティングをするときに、コーティング膜厚を測定する装置。コーティング装置内に置いた水晶振動子上にコーティング物質が堆積すると、質量が変化するため、水晶振動子の共振周波数がわずかに変化する。この周波数の変化を検出して、膜厚を測定するものである。あくまで質量を測定する装置なので、コーティング膜の密度が変わると膜厚は違ってしまうので注意が必要である。

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