モンタージュ

montage

[目次：観察手法]

複数のSEM像をつなぎ、広い領域からの情報を得る手段。SEM像の最低倍率で得られる視野より広い領域全体を、一度に観察するのに有効な手段である。パーソナルコンピュータ制御のモーター駆動ステージを利用して、自動的にモンタージュを行うことも可能で、SEM像の観察だけでなく、広い領域の元素マッピングも可能である。

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