予備排気

pre-evacuation

[目次：装置]

試料交換を行うときに、交換室を粗引きポンプで所定の圧力まで排気すること。予備排気終了後仕切り弁を開けて試料交換を行う。これにより、必要以上に試料室の真空を低下させることなく試料交換を行うことができる。

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