ラスター走査

raster scanning

[目次：装置]

電子線描画を行うときに、フィールド全体を電子プローブでラスター状に走査して描画をする方法。ベクター走査と違って時間が掛かるが、描画したパターンの相対的な位置関係が高精度で得られる。

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