リカーシブフィルター

recursive filter

[目次：装置]

SEM像のざらつきを低減するために使われるデジタルフィルター。高速走査のSEM像を加算して表示するが、過去の画像に対して現在の画像の比重を大きくすることで、ざらつきの少なくなったSEM像を見ながら、視野選択、非点補正、焦点合わせなどの操作を行うことができる。積算回数が多くなるとノイズは少なくなるが、応答速度が遅くなる。

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