アニュラー半導体ペア検出器

annular semiconductor pair detector

[目次：装置]

アニュラー (環状の) 半導体検出器で、一般には対物レンズの下端に装着されて反射電子の検出に用いられる。
入射電子は検出器中央の穴を通るように作られている。一般的に検出器は2分割もしくは4分割され、対向する素子の信号を加算・減算することで、組成像と凹凸像に分けることができる。
図は、表面は平滑であるが組成の違いがある試料と、組成は均一であるが凹凸がある試料に対してアニュラー半導体ペア検出器を使って組成像と凹凸像を得る原理を示す。

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