アレイトモグラフィー

Array tomography

[目次：観察手法]

後方散乱電子（反射電子）像を用いて、重金属染色して樹脂包埋した生物試料の内部構造（細胞内の膜構造など）を三次元再構築する手法の一つ。連続切片SEM法とも呼ばれる。
ウルトラミクロトームで超薄切片を連続的に作製し、シリコンウエハーなどの基板上に並べる。各切片の同一視野を観察して得られた二次元後方散乱電子（反射電子）像を積み重ねることで三次元像を再構築する。
シリアルブロックフェイスSEMやデュアルビームFIBとは異なり、観察後にも超薄切片が保存されるので、再観察が可能である。さらに、このように並べられた試料は、三次元像観察だけではなく、EDSによる三次元元素マッピングにも用いることができる。

Array Tomography is a method using backscattered electron images to three-dimensionally reconstruct the internal structure (such as the membrane structure in a cell) of a biological specimen stained with a heavy metal and resin-embedded. The method is also called the serially sliced SEM method.
In the method, ultra-thin sections are made serially using an ultra-microtome. The sections are arrayed on a substrate such as a Si wafer. Backscattered electron images (2D images) are taken from the same fields of view of each section. By stacking the 2D images, a 3D reconstruction image is obtained.
Unlike Serial Block Face SEM or Dual Beam FIB, the ultra-thin sections can be preserved even after obtaining a 3D image for repeated observation of the sections. The arrayed ultra-thin sections can also be used for 3D elemental mapping using EDS.

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