IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™は、多様化する市場ニーズに応えるべく、マルチパーパスステージを採用し、各種機能ホルダーを交換することで多機能化を実現しました。
用途に応じた機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、イオンビームスパッタコーティングなどの機能が拡張できます。
特長
自動加工プログラム
高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます。高品質な断面を短時間で作製できます。また、間欠加工プログラムにより、加工温度を抑えた加工ができます。
自動加工開始モード
設定圧力値に到達後、自動で加工を開始可能です。間欠加工モード
イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。仕上げ加工モード
高加速電圧の加工後、低加速電圧の加工に自動で切り替えて、短時間で高品質な断面作製が可能です。
特に結晶構造解析のための試料作製に有効です。
マルチパーパスステージ
各種機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、回転断面ミリング、イオンビームスパッタコーティング機能の拡張が可能です。
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断面ミリング 
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標準断面ミリング 高耐久遮蔽板の採用により、従来の遮蔽板よりも約3倍 (約8時間) の長時間ミリングが可能となりました。 |
|---|---|
| 広域断面ミリング (オプション) 広域加工ホルダーを使用することで、最大加工幅: 8mmの断面ミリングが可能です。 |
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| 精密加工位置合わせ断面ミリング (オプション) 専用の精密加工位置合わせ顕微鏡を使用することで、高倍率で容易に加工位置の調整が可能です。 |
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平面ミリング 
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試料表面に生じた機械研磨のキズや歪みを除去することが可能です。 
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回転断面ミリング 
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専用遮蔽材を用いることで、試料に360°の方向からイオンビーム照射して、筋状の加工痕を低減した断面加工が可能です。 
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イオンビームスパッタ 
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イオンビームスパッタ方式による高品質なカーボンコーティングが可能です。 
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| ミリングスピード | 500µm/h以上（加速電圧8kV）※1 |
2時間の平均値、Si換算、エッジ距離100µm
関連リンク
仕様・オプション
| 標準仕様 | ||
|---|---|---|
| 形式 | IB-19530CP | |
| イオン加速電圧 | 2～8kV | |
| ミリングスピード | 500μm/h以上 (加速電圧8kV) *1 | |
| 試料スイング機能*2 | ±30°自動スイング | |
| 自動加工開始モード | 設定した圧力値に到達後、自動で加工開始 | |
| 間欠加工モード | イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能 (ON: 1～999秒、OFF: 1～999秒) | |
| 仕上げ加工モード | 自動的に加工条件切り替え | |
| 広域断面ミリングモード | 最大加工幅: 8mm (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH) | |
| 最大搭載試料サイズ | 断面ミリング | 11mm (幅)×10mm (長さ)×2mm (厚さ) (標準付属試料ホルダー)
25mm (幅)×15mm (長さ)×10mm (厚さ) (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH) |
| 平面ミリング | 40mm (直径)×15mm (厚さ) (オプション: 大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH) | |
| 試料移動範囲 | X軸: ±6mm、 Y軸: ±2.5mm | |
| 操作法 | タッチパネル、6.5型ディスプレー | |
| 加工位置合わせ法 | カメラにより試料ステージ上をモニター*3。 光学顕微鏡下でも加工位置調整可能 | |
| 位置合わせ用カメラ倍率 | 約×70 (6.5型ディスプレー上) | |
| 加工観察用カメラ倍率*4 | 約×20 ～ ×100 (6.5型ディスプレー上) （IB-14510MCAM取り付け時） | |
| 外部モニター出力*4 | 位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能 (IB-14510MCAM取り付け時) | |
| プリセット機能 | 加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工）を4組プリセット | |
| 寸法・質量 | 本体 | 545mm (幅)×550mm (奥行)×420mm (高さ)、約66kg (IB-14510MCAM取り付け時) |
| ロータリーポンプ | 120mm (幅)×288.5mm (奥行)×163mm (高さ)、約9.3kg | |
設置条件
| 電源 | 単相AC100～120V、50/60Hz、許容入力電圧変動 10％以下、設備定格15A以上 |
|---|---|
| 最大消費電力 | 650VA |
| 接地端子 | D種接地 (100Ω以下) |
| アルゴンガス *5 | 純度99.9999％以上推奨
使用圧力: 0.1～0.2MPa (1.0～2.0kgf/cm2) ホース接続口: JIS B 0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 15～25°C |
| 湿度 | 60%以下 (結露しないこと) |
2時間の平均値、Si換算、エッジ距離100µm
特許：第4557130号
特許：第4208658号
IB-14510MCAMを装着すると、試料をリアルタイムでモニターすることができます。
ミリング中の試料の状態を観察できます。
外部モニターはお客様にてご用意ください。アルゴンガス、ガスボンベ、およびレギュレータはお客様にてご用意ください。
カタログダウンロード
IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
アプリケーション
IB-19530CPに関するアプリケーション
関連製品
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世界最速クラスのイオンミリングスピードを実現！
断面試料作製装置クロスセクションポリッシャ「IB-19530CP、IB-19520CCP」に新開発イオンソースを採用した「IB-10500HMSハイスループットミリングシステム」を開発しました。
HMS装着により、断面ミリングレート、1.2mm/hを実現しました。（従来比2.4倍）
さらに大型回転ホルダの使用で幅20mmの平面ミリングも可能になりました。
JSM-7900F ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
超高空間分解能、高い安定性、マルチパーパスといった従来の装置で高い評価をいただいてきた性能はそのままに、操作性を大きく向上させ、オペレーターのスキルに依存することなく、常に高いパフォーマンスを発揮するJEOLの新しいフラッグシップFE-SEMです。
JSM-IT800 ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために使いやすさを追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。
SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。
JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とするセミインレンズバージョン (i/is 、機能の違いにより2バージョン) と5つのバージョンをラインナップしました。
さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) と多目的反射電子検出器 (VBED) が搭載可能です。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。
IB-19520CCP 冷却クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。
冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能です。
大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構が付いています。
JSM-IT700HR InTouchScope™ 走査電子顕微鏡
毎日使うSEM。だから、使いやすく。
技術革新とともに観察対象は日々小さくなってきています。そのような微細化していく試料を日常的に測定しなければならないという声からJSM-IT700HRは誕生しました。最高分解能1 nm、最大照射電流300 nAを発揮する電子銃は観察・分析に余裕を感じさせてくれます。さらに、シンプルな操作にこだわったユーザーインターフェイスとコンパクト設計でありながらも大きな試料室により測定は誰でも自由自在。「見える」よりも「楽に見える」。だから、JSM-IT700HR。
JSM-IT510 InTouchScope™ 走査電子顕微鏡
必要なデータを、いつだってシンプルに。
走査電子顕微鏡 (SEM) は研究だけでなく、品質保証や製造現場で欠かせないツールなっています。そのような現場では、同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。JSM-IT510は新たに加わったSimple SEM機能では、従来SEM観察に必要とされたマニュアルによる繰り返し作業を 「おまかせ」 出来ます。SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました
JCM-7000 NeoScope™ ネオスコープ 卓上走査電子顕微鏡
開発の背景と主な特長
卓上走査電子顕微鏡は電機・電子、自動車・機械、化学・薬品を主体としたさまざまな分野で利用が広がっています。研究開発はもちろん、品質管理、物品検査といった製造現場と近接した職種で活用され、近年さらなる作業効率の向上、操作の簡便性、分析や計測性能の強化が求められています。
こうしたニーズに応え、JCM-7000 NeoScope™は、「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトの卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）として開発されました。
光学像を拡大すればSEM像が観察できる「Zeromag」、分析装置を立ち上げなくても観察中の視野の元素が分かる「Live Analysis」、SEM観察中に三次元観察が可能な「Live 3D」等の機能を搭載しました。光学顕微鏡の隣に一台置けば、異物分析や品質管理を、よりスピーディーに、より詳細におこなうことができます。
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