油回転ポンプ

(oil) rotary pump

[目次：真空系]

油で気密状態を保った状態でロータがケース内で回転することによって吸気口からガス分子を吸入し、圧縮してその圧力で排出口にある弁を開けて、ガスを大気に放出するポンプ。大気圧(10⁵Pa)から動作するので、透過電子顕微鏡の粗引きおよび油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプのバック側の排気に用いられる。使用圧力範囲は10⁵～1Pa。排気限界で長時間排気すると、ポンプの油の蒸気が真空槽に還流するので、長時間の排気は良くない。オイルフリーのポンプを望む場合はスクロールポンプを使う。

The (oil) rotary pump rotates a rotor in a case at the hermetic state maintained using oil to aspirate gas molecules into the inlet, and the gas molecules are compressed to open a valve at the outlet, then gasses are ejected to the air. Since the rotary pump operates from atmospheric pressure (10⁵ Pa), the pump is used for rough pumping of a TEM and for evacuation of the back side of the (oil) diffusion pump and the turbo-molecular pump. The working pressure is 10⁵5 to 1 Pa. If a long-time evacuation is continued at the evacuation limit, reflux of the oil vapor of the pump to the vacuum chamber occurs. Thus, the long-time evacuation by the pump should be avoided. When an oil-free pump is required, the scroll pump is used.

関連用語から探す