粗引き

rough pumping

[目次：真空系]

大気圧から主高真空ポンプに切り替える圧力まで排気すること。油回転ポンプー油拡散ポンプ系の場合は１Pa～0.1Paで切り替える。

"Rough pumping" means pumping from atmospheric pressure to the pressure for switching to the main high-vacuum pumping. In the rotary-diffusion pump system, the switching pressure is between 1 Pa and 0.1 Pa.

関連用語から探す