ALCHEMI

atom-location by channeling-enhanced microanalysis, ALCHEMI

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

入射電子が特定の原子位置を通過する現象（電子チャンネリング）を利用し、結晶中の不純物原子の位置を決定する手法。透過電子顕微鏡で電子回折パターンを見ながら電子ビームをブラッグ条件のプラス側およびマイナス側に順次傾斜してEDS装置で得た特性X線強度の違いを観察することから、不純物原子の占有位置（サイト）が区別できる。この方法では二つの結晶方位でX線強度が測られるが、電子ビームを二次元的にロッキングして連続的な広い角度にわたる特性X線強度のパターンを観察する、より信頼性の高い方法が普及し始めている。

"Atom-location by channeling-enhanced microanalysis (ALCHEMI)" is a method that determines sites (locations) of impurity atoms in a crystal by utilizing a phenomenon where the incident electrons pass through specific atom sites (electron channeling). Sites occupied by impurity atoms can be distinguished from the intensity difference of characteristic X-rays (EDS spectra) observed at a small positive tilt angle and a small negative tilt angle from an exact Bragg condition, the tilt angle being adjusted by observing the electron diffraction pattern. In this method, EDS spectra are measured at two crystal orientations but recently, a more reliable technique has been prevailing. That is, a technique of two-dimensional rocking of the incident electron beam enables us to obtain patterns of characteristic X-ray intensities over a large angular range.

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