イオンクリーナ

ion cleaner

[目次：試料等(試料および試料作製)]

透過電子顕微鏡用の試料に付着している前処理時の残留物質や試料保存時に付着した汚染物質を除去するイオンクリーニング装置。試料を試料ホルダに装着したままイオンクリーニング装置に挿入し、残留気体でグロー放電を起こさせ、イオン化した気体を試料に照射し、化学反応を利用して試料上に付着した汚染物質（特に炭化水素の重合物）を除去する。

An ion cleaning tool that removes contaminants on a TEM specimen, which are residual substances deposited on a specimen at specimen pre-treatment, and contaminated substances deposited on a specimen in specimen storage. The specimen holder on which a specimen is set is inserted into an "ion cleaner." Then, a glow discharge due to residual gasses in the ion cleaner is generated and the ionized gasses by discharge irradiate the specimen. This chemical-reaction of the ionized gasses removes the contaminants (in particular, polymerized substances of hydrocarbons) deposited on the specimen.

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