イメージウォブラ

image wobbler

[目次：レンズ系]

コンデンサーレンズの下にある偏向コイルを使って照射ビームを正負の方向に繰り返し少量だけ傾斜させて焦点合わせをする機能。イメージウォブラを働かせて像を観察し、像が動かなくなるように対物レンズの励磁または試料位置を調整すると焦点合わせができる。～5万倍までの像の粗いピント合わせに便利。

A function to perform focusing of the illumination beam by the use of deflection coils below the condenser lens. The electron beam is repeatedly tilted at slightly positive and negative directions with respect to the optical axis. The excitation of the objective lens or the specimen position is adjusted so that the image does not move while the "image wobbler" is operated. The image wobbler is useful for rough focusing at magnifications up to ～50,000×.