ウィンドウレス（窓材無し）型EDS検出器

windowless EDS detector

[目次：検出系]

検出素子を不純物の付着から保護するための窓材がないEDS検出器のこと。窓材による吸収がないのでベリリウムやボロンといった軽元素の検出ができる。TEMの場合、鏡筒の真空度が良いこと、ペルチェ冷却温度で使用可能なSDDでは不純物が付着しにくいこと，などの理由により、窓材が不要になり、現在、ウィンドウレス型EDS検出器が普及しつつある。

An EDS detector that does not use a window material for preventing contaminants onto its detector element. Since the windowless EDS detector suffers no X-ray absorption by the window material, the detector can analyze light elements such as beryllium (Be) and boron (B). Owing to a very high vacuum of the today’s microscope column and less severe deposition condition at Peltier cooling temperature than at liquid nitrogen temperature, the window material has become unnecessary. As a result, the windowless EDS detector has more been used in recent years.

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