液体金属イオン源

liquid-metal ion source

[目次：試料等(試料および試料作製)]

常温で液体である金属を用いるイオン源で、集束イオンビーム加工装置に用いられる。液体ガリウムが使われる場合が多い。

A "liquid-metal ion source" uses a metal that is at the liquid state at normal temperature. This ion source, normally liquid gallium, is used for an FIB instrument.

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