エネルギーフィルタ

energy filter

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

試料から出射する電子の内、特定のエネルギーを持つ電子のみを選択する装置。エネルギーフィルタを使い、特に弾性散乱電子のみを選択すると、非弾性散乱電子によるバックグラウンドが取り除かれるので、明瞭な像や回折図形を得ることができ、精度の高い構造情報が得られる。また特定の元素の吸収端エネルギーを選択すると、その元素のマッピングができる。エネルギーフィルタには、透過電子顕微鏡の鏡筒内に組み込むタイプと鏡筒の下に付加するタイプがあり、前者をインコラム型、後者をポストコラム型という。デザインの違う様々なエネルギーフィルタがある。

Instrument that selects electrons with only specific energies in electrons exiting from a specimen. When only elastically scattered electrons are selected by the energy filter, the background due to inelastically scattered electrons is successfully removed. Thus, a clear microscope image or diffraction pattern is obtained, which provides high-precision structural information. When the absorption-edge energy of a specific element is selected, the corresponding element is mapped. The energy filter is classified into the incolumn type incorporated in the TEM column and the post-column type attached below the column. There are various energy filters with different designs.

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