エネルギー分光器

energy analyzer

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

WDS分析やEELS分析の際、前者では特性X線や軟X線の、後者では非弾性散乱電子のエネルギーを分散させる分光器のこと。WDSの場合、特性X線を分光して元素分析を行う場合は分光結晶を、軟X線を分光して価電子帯の状態密度を測定する場合は回折格子を用いる。EELSの場合、インコラムタイプでは分光器としてオメガフィルタなどが用いられ、ポストコラムタイプではセクター型の分光器が用いられる。

An energy analyzer is used to disperse energies of characteristic X-rays or soft X-rays in WDS, and those of inelastically scattered electrons in EELS. In the case of WDS, analyzing crystals and gratings are respectively used for characteristic X-rays (element analysis) and for soft X-rays (measurements of the density of states of the valence band). In the case of EELS, an omega filter is used as an incolumn type energy analyzer, and a sector analyzer is used as a post-column type energy analyzer.

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