カロリメータ

calorimeter

[目次：検出系]

中性粒子、荷電粒子、電磁波の総エネルギーを吸収によって測定して、入射線のエネルギーを測定する装置。カロリメータを備えたXES装置は、高いエネルギー分解能(～10eV（最近のチャンピオンデータは4.5eV）)が得られる。難点は液体Heが必要で装置が大きくなること、信号取得の立体角がEDSより1桁以上小さいことである。現在はSEMに使われておりTEMには使用されていない。

A device that measures the total energy of a neutral particle, a charged particle or an electromagnetic wave through absorption. An XES device equipped with a "calorimeter" provides a high energy resolution (～10 eV (recent highest data is 4.5 eV)). However, the calorimeter needs liquid helium (He), resulting into large in size. The solid angle of signal acquisition for the calorimeter is ten times or much smaller than EDS. Thus, the calorimeter is used for SEM but not for TEM.

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