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機械研磨

機械研磨

mechanical polishing

[目次:試料等(試料および試料作製)]

試料の物理的研磨。耐水ペーパを使った手作業での研磨(→~100ミクロン)、回転研磨器を使ったダイヤモンド粉やコランダムによる研磨(→~数10ミクロン)、ディンプルグラインダを使ったコランダム粉による研磨(→<10ミクロン)、トライポットポリッシャを使ったダイヤモンド粉による研磨(→<10ミクロン)などがある。

"Mechanical polishing" is a physical polishing technique used for specimen preparation of TEM. The common techniques are as follows: (1) Manual polishing using water-resistant paper (down to ~100 μm thick), (2) Rotational polishing device-based polishing using diamond or corundum particles (down to ~several 10 μm thick), (3) Dimple grinder-based polishing using corundum particles (down to <10 μm thick), and (4) Tripot polisher-based polishing using diamond particles (down to <10 μm thick).

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