逆流（真空ポンプオイルの）

back-stream

[目次：真空系]

油回転ポンプや油拡散ポンプの油蒸気がポンプの高真空側へ流れ込むこと。逆流は防止しなければならない。

"Back-stream" is a phenomenon where the oil mist from the rotary pump or the diffusion pump flows to the high-vacuum side. The back-stream must be prevented.

関連用語から探す