キャスタン・ヘンリー型フィルタ

Castaing-Henry filter

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

インコラム型のエネルギーフィルタで透過電子顕微鏡の中間レンズと投影レンズの間に組み込まれる。分光器は二等辺三角形状の(1個の)電磁石と入射電子の方向を反転させる静電反射ミラーからなる。静電界を用いることから入射電子のエネルギーは80keVが限度である。エネルギー分散能は80keVで～1μm/eVである。

One of the in-column type energy filters, which is installed between the intermediate and projector lenses in a TEM. The filter consists of an isosceles-triangle electromagnet and an electrostatic mirror that reflects incident electrons to reverse their traveling direction. Since the "Castaing-Henry filter" exerts an electrostatic potential, the incident-electron energy is limited to 80 keV. Its energy dispersion is ～1 μm/eV for a 80 kV electron beam.

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