吸収効果

absorption effect

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

特性X線の分光分析(EDS)において、試料中で発生したX線の一部が試料に吸収されてしまう効果。試料が厚くなると(測定元素により違いがあるが、ほぼ数10nm以上)、定量測定の際、この効果が無視できなくなるので、検出したX線の強度を補正する必要がある。原子番号効果、蛍光励起効果に比べて効果が大きいので、厚い試料の場合に重要な補正。

In spectroscopic analysis of characteristic X-rays (EDS), the "absorption effect" means that part of X-rays generated within a specimen is absorbed by the specimen. Since this effect cannot be neglected when a specimen is thicker (～several 10 nm or thicker though depending on target elements), correction for the detected X-ray intensity is required in quantitative analysis. The correction of the absorption effect is crucial for thick specimens because this effect is larger than the atomic-number effect and the fluorescence excitation effect.

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