クライオポンプ

cryo pump

[目次：真空系]

液体ヘリウムなどの冷媒により極低温の面を作り、そこに気体分子を吸着させ、高真空を得るポンプ。使用圧力範囲は10^-2～10^-13Pa。ただし、水素、ヘリウム、ネオンの吸着には不適。透過電子顕微鏡の試料室では液体窒素で冷却したフィンを用いて高真空化を図っている。

The cryo-pump produces a cryogenic surface using a coolant such as liquid helium. Residual gas molecules are adsorbed to this surface resulting in a high vacuum. The working pressure is from 10^-2 to 10^-13 Pa. However, the pump is not suitable for adsorption of hydrogen, helium and neon. In the specimen chamber in a TEM, a fin cooled by liquid nitrogen is used to produce high vacuum.