5次球面収差

fifth-order spherical aberration

回転対称な電界および磁界型レンズの収差のうち、電子線が光軸に対する角度αの5乗に比例する収差を、5次の球面収差という。3次のみならず5次の球面収差も電子レンズに必ず存在する。通常にいう球面収差とは、電子線が光軸に対する角度αの3乗に比例する収差を指し、収差係数の表記としてCsが使用されるのに対し、5次の球面収差の収差係数の表記にはC₅が用いられることが多い。3次の球面収差補正が行われるようになり、C₅の影響を考慮する必要が出てきた。幸いなことに、二段6極子とそれらを繋ぐ転送レンズを備えた3次の球面収差補正装置を用いると、C₅の値を可変にすることができるので、C₅ = 0にすることができる。

Among the aberrations of rotationally symmetric magnetic and electrostatic lenses, the aberration proportional to α⁵ (α: an angle between an electron beam and the optical axis) is called "fifth-order spherical aberration." Not only the third-order spherical aberration, but also the fifth-order spherical aberration inevitably exists in an electron lens. The term, "spherical aberration," normally indicates the third-order aberration proportional to α³, and a symbol Cs is used as the spherical aberration coefficient. On the other hand, a symbol C₅ is normaly used as the fifth-order spherical aberration coefficient. In recent years, the third-order spherical aberration has been corrected, thus the fifth-order spherical aberration has been needed to be considered. Fortunately, the use of a Cs corrector with the two-stage hexapoles and transfer lenses between them makes possible the value of C₅ variable, thus C₅ = 0 being available.