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コマ収差(軸上)

コマ収差(軸上)

axial coma aberration

[目次:レンズ系]

電磁レンズ(対物)が完全な軸対称性を持たないことに起因する収差の一つ。コマ収差はビームの点像を円錐状(彗星状)にする。この収差はレンズのポールピースの孔の非対称(真円でない)、材質の磁気的不均質、絞り等への帯電などによって生じる。

"Axial coma aberration" is a parasitic aberration due to incomplete axial symmetry of an electromagnetic lens (objective lens). This aberration deforms a circular image of the electron source to a cone-shaped (comet-shaped) image. The axial coma aberration arises from asymmetry of the pole piece bore of the lens, magnetic non-uniformity of the pole piece material, electron charging on the aperture, etc.

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