コンデンサー絞り

condenser aperture

[目次：レンズ系]

第1コンデンサーレンズ内には直径～0.5～1mmの固定絞りが挿入されており不要なビームをカットする。第2コンデンサーレンズ内には直径10～200μmの異なる直径の可動絞りが5個程度挿入されていて、ビームの開き角、照射量を決めている。

The "condenser aperture" is classified into the fixed aperture and the movable aperture. As for the former case, a fixed condenser aperture with a diameter of ～0.5 mm to 1 mm is inserted into the first condenser lens to cut unnecessary beams. As for the latter case, about five movable apertures with different diameters ranging from ～10 μm to 200 μm are inserted into the second condenser lens, which determine the divergence angle and the dose of the incident beam.

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