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サイドエントリー型EDS検出器

サイドエントリー型EDS検出器

side-entry type EDS detector

[目次:検出系]

対物レンズの横位置に設置するEDS検出器。水平に置かれた試料に対して、検出器の見込み角は30°以下の低角度になる。検出器を試料に近づけ易いので、検出立体角が大きくX線の検出効率が高い。定量性を向上するためには検出器に飛来するX線の試料内での拡散距離を短くする必要がある。そのために検出器に飛来するX線の試料表面に対する角度が大きくなるように、試料を検出器に向けて傾ける場合がある。試料の局所的な向きによってX線の強度が変化し易く、定量性が高くないのが欠点である。小さなギャップ長で小さな穴径を持つ高分解能ポールピースとも容易に組み合わせることができ、微小領域分析に対応できるため、現在はこの方式が主流になっている。

An EDS detector which is placed on the side of the objective lens with a viewing angle of 30° or less to a specimen set horizontally. Since the "side-entry type EDS detector" can be set near the objective lens, its detection solid-angle of emitted X-rays is large or its X-ray detection efficiency is high. To improve the accuracy of quantitative analysis, the diffusion length of the emitted X-rays in the specimen is required to decrease. For this purpose, the specimen is tilted as needed against the detector so that X-rays coming to the detector take a large angle against the specimen surface. Since the X-ray intensity is sensitive to the local roughness of the specimen, the accuracy of quantitative analysis is not high enough. However, this type detector is broadly used these days as it is suitable for the analysis of a smaller specimen area because it can be combined with a high resolution objective pole-piece which has a small gap and a small bore.

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