サイドエントリーステージ

side-entry stage

[目次：試料室]

対物レンズのポールピースの横から試料を挿入する方式の試料ステージ。トップエントリーステージに比べると振動や熱に対して不安定であるという欠点があるが、構造上、試料ステージから上方の空間を有効に使えるので、分析機能の付加が容易であり、試料の傾斜角も大きくとれるので、材料科学やトモグラフィーに有用である。C-Oレンズが使えるので試料上でナノビームが容易に得られること、試料上方に設置するEDS検出器の取り出し角を大きくとれるなど、分析電子顕微鏡に適しているステージである。

A specimen stage into which the specimen is inserted from the side of the polepiece of the objective lens. Compared with the top-entry stage, the "side-entry stage" has disadvantages of instability to vibrations and heat. However, in the case of this stage, a space above the specimen stage can be effectively used to add analytical functions (tools) and to achieve large tilt angles of the specimen. Thus, the side-entry stage is very useful in applications to materials science and tomography. Furthermore, the advantages of this stage include: a nano-sized beam is produced on the specimen with the use of the C-O lens, and a large take-off angle of an EDS detector is achieved. Therefore, the side-entry stage is suitable for analytical electron microscopy.

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