差動排気

differential pumping

[目次：真空系]

排気抵抗の高いオリフィスや細管でつながっている二室の各室に対して個別にポンプを設けて排気すること。各室は互いに影響されることなく、それぞれのポンプの性能による到達圧力に達する。カメラ室と鏡筒の間にはオリフィスに相当する0.5～2mmの固定絞りが入っており、両部分は差動排気になっている。試料室と電子銃室の間も差動排気になっている。

"Differential pumping" means that two chambers connected through an orifice or a fine tube with high evacuation resistance are evacuated by separate pumps. Each chamber reaches the pressure determined by the performance of the pumps, without influenced by each other. The camera chamber and the column achieve differential pumping because a fixed aperture (0.5 to 2 mm in diameter) or an orifice is inserted between them. Differential pumping is also executed between the specimen chamber and the electron gun chamber.