サブリメーションポンプ

sublimation pump

[目次：真空系]

高真空中でチタンを加熱、昇華させ、新鮮なチタンの蒸着膜を壁面に作り、チタンのゲッタ作用(気体分子を化学的に吸着する作用)により排気をおこなうポンプ。高真空領域で効果が著しい。使用圧力は10^-5Pa以下。サブリメーションポンプは加熱するので、常時使用するのは高真空保持のためには好ましくない。そこでイオンポンプとセットになっていることが多く、イオンポンプを常時作動させておき、必要なときにサブリメーションポンプでさらに高真空を得るという使い方をする。電子顕微鏡では現在あまり使われていない。

In the sublimation pump, titanium is heated and sublimated under a high vacuum. A fresh titanium-deposited film is formed on the inner wall of the pump. The getter action (chemical adsorption of gas molecules) of the fresh film surface is efficient for pumping in the high-vacuum region. The working pressure is 10^-5 Pa or better. Since the pump needs heating, its long-time use is inadequate to maintain a high vacuum. To overcome this problem, the sublimation pump is combined with the ion pump, where the ion pump is constantly operated and the sublimation pump is operated when needed. The pump is not used so much to date.