仕切り弁

isolation valve

[目次：真空系]

ある部分を他の部分と隔離するための弁。電子銃室、試料室—鏡筒、カメラ室を、他の部分に影響を与えることなく独立に真空を破ることができるように、それらの間に設けられている。

A valve to isolate a certain part from the other part. Each "isolation valve" is placed between the electron gun chamber and the column, the specimen chamber and the column, and the column and the camera chamber, so that the vacuum in a part is broken without any effect on the vacuum in the other parts.