試料汚染

contamination

[目次：試料等(試料および試料作製)]

電子ビームの静電気力により、試料表面に付着している炭化水素(ハイドロカーボン)が照射領域に集まり、炭化水素系の重合物をつくられ堆積することを試料汚染という。CBEDやSTEMなど、絞った密度の高い電子ビームを微小な試料領域に照射する手法では特に顕著である。

Hydrocarbons deposited on a specimen surface condense at an electron-beam irradiation area by the electrostatic force of the electron beam and are polymerized by the electron beam. This phenomenon is called "(specimen) contamination." Contamination is particularly severe when a small specimen area is irradiated with a focused, high-density electron beam, for example CBED or STEM.

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