真空蒸着

vacuum evaporation (deposition)

[目次：試料等(試料および試料作製)]

高真空中で物質を加熱蒸発させ、固体表面(基板)上に、薄い物質層を作る手法。透過電子顕微鏡用には、均一な厚さを持つ金属、合金などの試料作製に利用される。

"Vacuum evaporation (deposition)" is a technique to form a thin substance layer on a surface of a substrate by evaporating the substance in high vacuum. For a TEM, this technique is used for specimen preparation of a metal and an alloy with uniform thickness.

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