真空排気系

evacuation system

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透過電子顕微鏡の真空排気系は、電子銃室、鏡筒、試料室、カメラ室の被排気系と各種ポンプや弁、排気管で構成されている。標準的構成では、電子銃室、鏡筒は油回転ポンプ—油拡散ポンプ—イオンポンプの系、カメラ室は油回転ポンプ—油拡散ポンプの系が採用されている。電子銃が電界放出型の場合、電子銃室は独立なイオンポンプが配置され高真空が得られるようになっている。最近は、油を用いないオイルフリー排気系の要求が増えており、その場合には、鏡筒やカメラ室はスクロールポンプ−ターボ分子ポンプの系が採用される。

The evacuation system of a TEM is composed of the electron gun chamber, the column, the specimen chamber and the camera chamber, and various pumps, valves, and exhaust tubes. In the normal TEM, the electron gun chamber and the column are evacuated by the (oil) rotary pump-the (oil) diffusion pump-the ion pump system, whereas the camera chamber is evacuated by the (oil) rotary pump-the (oil) diffusion pump system. When the electron gun is of the field-emission type, an independent ion pump is used for the electron gun chamber to obtain a high vacuum. Recently, due to increasing requirements for oil-free evacuation system, a system using scroll pump-turbo molecular pump is becoming popular for the evacuation of the camera chamber and the column.