スクロールポンプ

scroll pump

[目次：真空系]

油を使用しないドライ真空系ポンプ。渦巻状の羽根を回転させて、気体を外側から中心へ送り込んで圧縮して排気する。グリス以外の油は使っていないのでオイルフリーで、油回転ポンプのようにオイルミストの排気がない。低振動、無騒音。使用圧力範囲は10⁵Pa～1Pa。カメラ室に対してもオイルフリーの真空系を望む場合が多くなり、ロータリーポンプ−油拡散ポンプの系を使わず、ターボ分子ポンプとスクロールポンプの組み合わせの排気系を組むことが増えている。

A dry vacuum pump that does not use oil. By rotating the scroll blade of the scroll pump, residual gasses are carried to the central part of the pump, are compressed and evacuated. Since oil is not used except a grease for the scroll shaft, the pump is oil-free and oil mist is not exhausted, which occurs for the rotary pump. The pump features low vibration and no noise. The working pressure is from 10⁵ Pa to 1 Pa. Recently, requirements for an oil-free pump evacuation system are increasing even for the camera chamber. For such needs, a combination of the turbo-molecular pump and the scroll pump is adopted, instead of the diffusion pump.

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