スリーウィンドウ法

three-window method

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

EELSによる定量的元素マッピングに用いる方法。試料の同じ場所から、ある元素の内殻励起の直前のバックグラウンド強度をエネルギーを変えて2枚取り、二つの強度から内殻励起直後のバックグラウンドを外挿して求め、内殻励起直後のスペクトル強度から差し引く方法。この方法で定量的元素マッピングができる。

A method used for quantitative element (elemental) mapping by EELS. The process of the "three-window method" is as follows. Two background intensities before the inner-shell excitation of a certain element are acquired. The background intensity at the inner-shell excitation of the element is obtained by extrapolation using the two background intensities. Then, the obtained background intensity at the inner-shell excitation is subtracted from the spectral intensity of the inner-shell excitation. This method enables us to perform quantitative element mapping.

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