ターボ分子ポンプ

turbo-molecular pump

[目次：真空系]

油を使用しない機械式ドライ真空系ポンプ。高速で回転するロータにより気体分子に排気方向の運動量を与え、気体分子を排気する機械ポンプ。バック側には油回転ポンプなどの排気ポンプが必要。低真空から動作する。最近は音や振動の問題も解決されている。排気する気体の種類を選ばない。油拡散ポンプと違って、H2Oの排気に強いので生物分野の電子顕微鏡に使われることがある。イオンポンプより高価であることと機械的な故障の危険性がある。使用圧力範囲は10^-1～10^-8Pa。

A mechanical, dry vacuum pump that does not use oil. In the turbo-molecular pump, a high-speed rotor provides momenta to residual gas molecules in the pumping direction and the gas molecules are pumped. A rotary pump or the other pump is required to evacuate the backside of the turbo-molecular pump. The pump operates at low to high vacuum. The working pressure is 10^-1 to 10^-8 Pa. Recently, problems of sound noises and mechanical vibrations have been solved. Any gas can be pumped by this pump. Unlike the diffusion pump, the pump is suitable for pumping water H₂O. Thus, the pump is sometimes used for a biological TEM. The price of the pump is higher than the ion pump. Care has to be paid for mechanical failure.