超高真空
超高真空
ultra-high vacuum
[目次:真空系]
10-5Pa以下の高真空のこと。超高真空を実現するには、ポンプ/容器に用いる材料の選択をはじめ高い技術が必要。
A high vacuum of 10-5 Pa or better. To achieve an "ultra-high vacuum," high-end technology is required, which includes selection of appropriate materials of pumps, containers, etc.
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