電子光学系

electron optical system, EOS

[目次：レンズ系]

電子ビームに対して拡大、縮小、エネルギー分散などを行う電磁レンズ、静電レンズ、偏向コイルなどの基本素子を組み合わせた装置。

A system composed of basic elements, such as electromagnetic lenses，electrostatic lenses and deflection coils to execute the magnification, demagnification, energy dispersion etc. of the electron beam.

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