点分析
点分析
point analysis
[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]
分光分析において、電子ビームを試料の一点に止め、その点でのスペクトルを得る分析。
In spectroscopic analysis, "point analysis" is to acquire a spectrum from a point on a specimen by stopping an electron beam at the point.
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