トップエントリー型EDS検出器

top-entry type EDS detector

[目次：検出系]

対物レンズの上方に設置するEDS検出器。水平に置かれた試料に対して、検出器の見込み角が70°位の高角度になる。検出器に飛来するX線の試料表面に対する角度が大きいので、X線の試料内部での拡散距離が短く、試料傾斜が不要であり、定量性に優れている。しかし、検出器を試料に近づけることができないので、検出立体角が小さく検出感度が低いのが欠点である。対物レンズの上方からX線を取り出すために、対物レンズポールピースの穴を大きくしなければならず、TEM像の分解能や微小プローブ形成に不利である。最近はこの型の検出器はほとんど使われていない。

An EDS detector which is placed above the objective lens with a viewing angle of about 70° to a specimen set horizontally. Since X-rays coming to the detector take a large angle against the specimen surface, the diffusion length of the emitted X-rays in the specimen is kept small without any specimen tilt, leading to a high accuracy of quantitative analysis. However, since the detector is distant from the specimen, the solid angle of the detector against the specimen is small or its detection efficiency is not high. Since the detector takes X-ray signals from the top of the objective lens, it requires a large bore polepiece for the lens. The use of such a polepiece is unfavorable to obtain a high resolution image and a small probe size on the specimen. Due to these disadvantages, this type detector has not been used recently.

関連用語から探す