トップエントリーステージ

top-entry stage

[目次：試料室]

対物レンズのポールピースの上方から試料を挿入する方式の試料ステージ。試料ホルダは光軸に対して回転対称で、対物レンズ内に落とし入れる構造になっているため、振動や熱に対して安定であり、超高圧電子顕微鏡をはじめとする高分解能観察に適している利点がある。しかし、この構造では大きな傾斜角がとれず、分析機能の付加が難しい欠点があるので、分析電子顕微鏡では、サイドエントリーステージが採用されている。

A specimen stage into which the specimen is inserted from above the polepiece of the objective lens. The "top-entry stage" has a construction where the specimen holder is rotationally symmetric with respect to the optical axis because it is inserted in the objective lens from the top. Since this stage is stable to vibrations and heating, it is advantageous for high-resolution image observation in an ultra-high voltage electron microscope, etc. However, due to the construction of the top-entry stage, large tilt angles of a specimen cannot be achieved, and analytical functions (tools) are difficult to be added. Due to these disadvantages, the side-entry stage is used for an analytical electron microscope.

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