ドライポンプシステム

dry-pumping system

[目次：真空系]

油や水を使用しない真空排気系のこと。スクロールポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプがある。

An evacuation system that does not use oil or water. The "dry-pumping system" includes the scroll pump, the sputter ion pump and the turbo-molecular pump.

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