内殻電子励起

inner-shell (core) excitation

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

内殻電子が、X線を吸収したり、高エネルギーの電子やイオンと衝突して伝導帯に励起され、内殻に電子の空孔ができる過程。EELSでは内殻励起現象の詳細な解析ができる。

A process where an inner-shell electron is excited to the conduction band by absorption of X-rays or by collision with a high-energy electron or ion, and then an electron vacancy is created in the inner shell. EELS enables us to perform detailed analysis of inner-shell excitation.

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