ナノビーム回折

nano-beam diffraction, NBD

[目次：理論(電子の散乱／回折／結像)]

電子線を試料に平行照射して電子回折図形を取得したのち、電子線を試料上に収束し、かつ小さなコンデンサー絞りを用いてナノメーターサイズの領域を照射して結晶構造の定性的な解析をする手法。このとき、回折斑点は電子線の収束角に対応してディスク状になる。この手法により、ナノメーターサイズの領域の格子定数、格子型、結晶方位を知ることができる。微細な析出物や界面の解析に用いられる。制限視野回折の場合は、制限視野絞りによって観察領域が決められるが、NBDの場合は、収束角とコンデンサー絞りによって観察領域が決められる。

A method for qualitative analysis of crystal structures from a diffraction pattern, acquired from a nanometer specimen area. An electron diffraction pattern is first obtained by illuminating the specimen with a parallel electron beam. Then, the electron beam is converged onto a nanometer specimen area using a small condenser aperture, diffraction spots being transformed to disk-like corresponding to the convergence angle of the electron beam. The method enables us to determine the lattice parameter, lattice type and crystal orientation of a specific nano-area. It is useful for crystallographic analysis of fine precipitates and interfaces. It is noted that the selection of a specimen area is made with a selector aperture in the case of SAD, but made with a condenser aperture and the convergence angle of the incident beam in NBD.

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